Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ)

Компания

Электротехника и микроэлектроника
С 2010 года
Россия
Центральный ФО РФ
Москва
Зеленоград, Георгиевский проезд, 5\23


Содержание

250px

Активы

Зеленоградский нанотехнологический центр сегодня – инновационная компания, осуществляющая исследования и разработки в области нано- и микросистемной техники. Центр основан в 2010г. МИЭТ и Зеленоградским инновационно-технологическим центром, Фондом образовательных и инфраструктурных программ (ОАО «Роснано») для генерации и поддержки новых бизнесов в области нано- и микроэлектроники и концентрирует значительную часть технологических ресурсов и компетенций.

Созданный многофункциональный комплекс включает полный цикл проектирования СБИС, полный цикл кристального производства микроэлектроники, нано- и микро-системной техники (МЭМС, НЭМС, системы на кристалле, 3d интеграция микросборок).

Площадь чистых комнат 450 кв. м., класс: 10 – 1000, линию сборки и тестирования функциональных и электрических параметров изделий микроэлектроники. Разработка и производство интегральных микросхем и полупроводниковых приборов соответствует требованиям ГОСТ РВ 15.002-2003 и РД В 319.015-2006 и обеспечивает удовлетворение условий, необходимых для обеспечения выполнения государственного оборонного заказа.

Деятельность ЗАО «ЗНТЦ» ориентирована на выполнение ключевой задачи обеспечения перехода из области НИР, научно-исследовательской работы, в область конкретных рыночных внедрений. Это технологическая площадка, на которой должны вырастать и развиваться проекты, место встречи фундаментальной науки, современного производственного комплекса, финансовых ресурсов и коммерческих компетенций по трансферу технологий, привлечению индустриальных партнеров.

История

2015

АО «НИИ Молекулярной электроники и завод «Микрон» – заинтересовался разработками Национального исследовательского университета «МИЭТ» и АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (АО «ЗНТЦ») в области технологий элементной базы высокотемпературной микро- и наноэлектроники и выступил индустриальным партнёром. Проект получил поддержку Минобрнауки России в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014–2020 годы».

Соисполнителем НИУ МИЭТ по проекту является АО «ЗНТЦ», на базе которого разрабатываются специализированные прикладные технологические решения, обеспечивающие работоспособность элементной базы при температуре до 250оС. Так, например, для изготовления температуростойких и быстродействующих АЦП осуществляются специализированные технологические процессы на установке атомно-слоевого осаждения. Напыление тонких плёнок металлов и диэлектриков позволяет создавать трехкомпонентный наноразмерный диэлектрик с высокой диэлектрической проницаемостью (high-k диэлектрики) для МIМ-конденсаторов.

«Созданные по новой технологии микросхемы используются, к примеру, в качестве параметрических изделий в автоматизированных системах измерения температур, контроля работы инструментов или двигателей. В процессе бурения температура достигает 250 градусов, и распределённые системы управления размещаются всё ближе к «горячим» частям авиационных и транспортных двигателей, погружным блокам бурильных установок. Во время бурения электронные системы контролируют давление, температуру, вибрацию и активно управляют распределительными клапанами и движущимися механизмами. Удовлетворение этих потребностей требует использования высокотемпературных компонентов. Соответственно, требования к работе при высокой температуре самой элементной базы тоже повышаются», – пояснил генеральный директор Зеленоградского нанотехнологического центра Анатолий Ковалёв[1].

Разработанные по данной технологии высокотемпературные компоненты найдут применение в приборах, работающих в экстремальных условиях, при управлении химическими процессами, а также для усиления и обработки сигналов датчиков в промышленном оборудовании, работающем при повышенных температурах в нефтегазовой промышленности, энергетике и промышленной автоматике.

Базовая технология изготовления таких микросхем уже существует, есть она и у «Микрона», но для работ в условиях высоких температур нужна модернизация её отдельных блоков. В основе технологии лежит использование специальных материалов – структур «кремний на изоляторе» (КНИ), микроплёночных конденсаторов. Но главное – это изменения в системах металлизации микросхем, необходимые для того, чтобы они выдерживали повышенную температуру и нагрузку. «Это требует разработки каждого элемента, формирования новых правил проектирования, библиотек элементов.

Такая элементная база востребована не только в ракетно-космической технике, но и в приборостроении для нефтегазовой промышленности, энергетике и двигателестроении.

Участок фотолитографии производства кристаллов Зеленоградского нанотехнологического центра В ходе выполнения проекта разрабатываются две основные технологии с проектными нормами 180 нанометров (0,18 микрон) и 0,5 микрон. НИУ МИЭТ отвечает за прикладные научные исследования и часть экспериментальных работ, включающих компьютерное моделирование технологических параметров, изготовление и испытание макетов, разработку правил проектирования, обобщение результатов. А Зеленоградский наноцентр отрабатывает технологические маршруты на линии. «Мы проектируем библиотеку элементов, а также разрабатываем технологию тонкоплёночных MIM-конденсаторов. Это сложный технологический приём с использованием атомно-слоевого осаждения (в английской транскрипции – ALD) для высокотемпературной электроники», – сказал Анатолий Ковалёв. На площадке Зеленоградского наноцентра будет реализовываться мелкосерийное производство специализированных групп изделий. А на «Микроне», где апробируются обе технологии, планируется наладить серийный выпуск высокотемпературной ЭКБ с проектными нормами 180 нанометров и 90 нанометров.

2014

  • Создана технологическая инфраструктура для оказания полного цикла услуг в области разработки микро- и наноэлектроники. Особенно важно, что разработчики отечественных компонентов для микроэлектроники смогут за рубли заказывать услуги в области разработки любого цикла:
    • электроники экстремальных применений,
    • промышленной электроники.

  • Активно развивалось направление по развитию стартапов на стыке электроники и медицины

В ходе пресс-тура будет представлена возможность ознакомиться с кристальным производством (чистыми комнатами), где ведутся разработки в области разработки датчиков, сенсоров, в т.ч. для автоэлектроники, автоматизированных систем управления.

Примечания


Персоны (1)

Сотрудники компании, известные TAdviser. Добавить персону можно здесь.

ФИОГородДолжность
Шаймарданова Оксана ОксанаМоскваДиректор по маркетингу